装置事業・総合カタログ
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19 ※ 詳しくは別途お問い合わせください。 開発チームは、高温雰囲気下での温度分布と制御を正確に、繊細にコントロールできる技術開発に取り組み実現してきました。 近年では処理量の大幅UPによる大型化、更に従来とは形状が全く異なる設備の開発など難易度の高い要求仕様にもチーム一丸となって応え、装置耐久性をいかに伸ばすかなどの技術課題にもチャレンジしています。 薄型パネル向ITO 半導体基板 シリコン多結晶(太陽電池) 発光ダイオード 蛍光体 圧電素子 コンデンサ 石英ガラス リチウムイオン電池 燃料電池 活性炭 チラノ繊維 カーボンナノチューブ(CNT) 触媒 貴金属精製 リサイクル(基盤) 人工骨 粉末治金(PM) 金型射出成形(MIM) 超硬 磁性材 ● 開発事例紹介 薄幕パネル用ITO(透明導電膜)焼結炉の開発 液晶パネルにはITOという透明で電気をよく流す電極が使用されています。そのスパッタリング用ターゲットを焼結するのがITO焼結炉で、いかに精度良く加熱するかが問われます。 広築では1988年頃よりITO焼結炉の開発を始め、以来納品実績を着実に伸ばしています。 新素材開発事例 <アドバンヒート>■■■■■■■■■■■■■主な対象製品

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