貴金属精製リサイクル(基板)人工骨粉末治金(PM)金型射出成形(MIM)超硬磁性材薄膜パネル用ITO(透明導電膜)焼結炉の開発19 ※ 詳しくは別途お問い合わせください。 石英ガラス リチウムイオン電池 燃料電池 活性炭 チラノ繊維 カーボンナノチューブ(CNT) 触媒 ● 開発事例紹介 薄型パネル向ITO半導体基板シリコン多結晶(太陽電池)発光ダイオード蛍光体圧電素子コンデンサ液晶パネルにはITOという透明で電気をよく流す電極が使用されています。そのスパッタリング用ターゲットを焼結するのがITO焼結炉で、いかに精度良く加熱するかが問われます。 広築では1988年頃よりITO焼結炉の開発を始め、以来納品実績を着実に伸ばしています。 開発チームは、高温雰囲気下での温度分布と制御を正確に、繊細にコントロールできる技術開発に取り組み実現してきました。 近年では処理量の大幅UPによる大型化、更に従来とは形状が全く異なる設備の開発など難易度の高い要求仕様にもチーム一丸となって応え、装置耐久性をいかに伸ばすかなどの技術課題にもチャレンジしています。 主な対象製品 <アドバンヒート>の熱技術が実現した製品例 新素材開発事例
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